微纳米半导体器件特性分析系统

设备型号:KEITHLEY 4200-SCS、BD-6探针台、707A矩阵开关

技术参数:

源量程:电流1.05A,精度50aA;电压210V,精度5μV;

测量范围:电流1.05A,精度10aA;电压210V,精度1μV;

快速脉冲测试模块频率范围1Hz~50MHz;

探针台电流精度100fA;

矩阵开关:弱电流通道2个;CV通道2个;

系统功能:集成前沿的脉冲能力和精密DC测量,适用于微纳米器件辐射损伤机理分析:

  • 6英寸以下晶圆级参数测试及可靠性
  • 封装器件特性分析
  • C-V/I-V 特性分析
  • 高K栅电荷俘获
  • 受自加热效应影响的器件和材料的等温测试
  • 电荷泵测量
  • 电阻性的或电容性的MEM驱动器特性分析
  • 光电子器件

 

光电材料与器件辐射效应测试系统

系统组成:iHR550影像光谱仪、Optistat AC-V低温恒温器、Coherent Compass-315M固态激光器、SR830锁相放大器

技术参数

光谱范围:190~2100nm;

光谱分辨率:0.05nm(1200g/mm);

波长精度:0.2nm;

波长重复性:0.075nm;

系统功能:半导体光电材料和器件的发光光谱测试、光谱响应特性测试和电参数测量,以及低温电致发光谱测试(EL)和光致发光谱测试(PL)。

太阳电池电参数测试系统

系统组成:太阳模拟器、KEITHLEY2635数字源表

技术参数

AM0太阳光谱;

最大光强1.5太阳常数;

均匀照射面积100mm×100mm;

光谱匹配度A级;

不均匀度≤±3%;

恒温样品台

电流脉冲源可以达到±10A;

测量电流脉冲:±10A;

直流电压源:±1uV~202V;电流源:±20fA~1.515A;

测量直流电压:±1uV~204V;直流电流:±1fA~1.53A;

系统功能:为待测太阳电池提供模拟太阳光,可进行空间太阳电池全参数测试。

超大规模集成电路测试系统

设备型号:Verigy 93000CTH

技术参数:

8块PS400数字板卡

512个数字通道,其16个通道测试速率可高达533Mbps

Per-Pin测量结构

量程范围:-2.5V—6.2V、±20mV

精确度:±10mV、±100uA

分辨率:1mV、10uA

系统功能:满足超大规模集成电路辐射损伤测试需求

实现SOC全参数测试

                                                      X衍射室

 

                     SpectroMaster UV-VIS-IR全自动高精度折射率测量仪

                                 

                                                    粉末倍频测试系统

   

                        STA449F3型同步热分析仪

   

                                                 高温介电温谱测试系统 

    

                                                          热膨胀仪

        

                                            端面泵浦Nd:YAG调Q激光器

     

         

                                         岛津红外光谱仪IRAffinity-1测试系统